Вимоги захисту від електростатичних розрядів для чистих приміщень
Незалежно від того, як змінюються умови зовнішнього повітря, Кліматична кімната може підтримувати характеристики чистоти, температури, вологості та тиску, як це було встановлено спочатку.
Основною функцією чистого приміщення є контроль чистоти, температури та вологості атмосфери, з якою контактують вироби (наприклад, кремнієві стружки тощо), щоб вироби можна було виготовляти та виготовляти у хорошому екологічному просторі. Цей простір називається&«чиста кімната"" ;.
Відповідно до міжнародних стандартів, рівень чистого приміщення в основному ґрунтується на кількості частинок на кубічний метр повітря, діаметр яких більший за стандарт класифікації.
Чисте приміщення необхідно облаштувати відповідно до таких вимог:
1. Антистатична підлога: опір точка-точка< 10e9ω;="" опір=""><>
2. Антистатична настінна дошка: опір точка-точка< 10e9ω;="" опір=""><>
3. Антистатичне вікно: опір точка-точка< 10e9ω;="" опір=""><>
4. Надійна система заземлення: опір точка-точка< 1="">
5. Система іонізації повітря: Визначте діапазон балансної напруги та час знеструмлення відповідно до технології процесу. Рекомендація: балансова напруга< ±="">