Статичне управління чистою кімнатою
1. Основні принципи статичного управління
(1) Визначити статичний рівень управління
(2) Звести до мінімуму генерацію статичного заряду
(3) Метод вентиляції та нейтралізації прискорює розсіювання статичного заряду та запобігає накопиченню статичної електрики
(4) Захист виробу від пошкодження ESD
2. Визначте рівень статичного управління
(1) Класифікація електростатичної сприйнятливості компонентів, компонентів та обладнання
Рівень 1: легко пошкоджений електростатичною напругою 0-1999 В
Рівень 2: легко пошкоджений електростатичної напругою 2000-3999В
Рівень 3: легко пошкоджений електростатичної напругою 4000-5999В
Якщо чутлива статична напруга більше 16000В, не варто вживати антистатичних заходів.
(2) Класифікація робочої зони електростатичного захисту
Клас А: Дозволити електростатичного потенціалу на землі не перевищувати ±100 В
Клас B: Дозволити електростатичний потенціал землі не перевищувати ±1000 В
У фактичному проекті електростатичний потенціал не перевищує 3 рівнів електростатичної чутливої напруги відповідних компонентів, компонентів і обладнання, таких як 100В, 500В і 1000В.
3. Максимально мінімізуйте генерацію статичного заряду
Це перший крок у трилогії статичного управління. У цьому чистому робочому середовищі найкращими заходами є:
(1) Спробуйте використовувати обладнання з подібними властивостями для зменшення електростатичного заряду, що утворюється в процесі поділу контактного тертя;
(2) Намагатися використовувати статичні провідні або статичні розсіювальні матеріали для зменшення накопичення статичних зарядів в процесі контактного тертя і поділу;
(3) Спробуйте використовувати виробничий процес, який зменшує електростатичний заряд, що генерується шляхом поділу контактного тертя.
4. Звільнення та нейтралізація
Це перший крок у триступінчастому процесі управління статичною електрикою. Звичайними заходами в чистому приміщенні виробництва мікроелектроніки є заземлення, використання провідних або розсіювальних матеріалів для розряду статичних зарядів, і іонізуючі розсіювачі для нейтралізації статичних зарядів.
1) Заземлення
Чисте приміщення повинно бути оснащене незалежною електростатичною системою заземлення (включаючи систему підтримки заземлення металевої сітки, виробничу лінію робочої станції заземлення системи підтримки), щоб металеві оболонки всього обладнання в приміщенні, металеві опори для мобільного обладнання, антистатичного обладнання і т.д., могли безпечно і ефективно розряджати статичні заряди. Покладіть його на землю. Заряджена електрика персоналу заземлена через наручний ремінець, і скидається на землю через антистатичний черевик або ремінець на підборах, а потім через антистатичний грунт. Грунт, стіни, стелі, перегородки і т.д. жорстко заземлюються, в той час як корпуси обладнання, мобільна техніка (автомобілі, стільці, полиці і т.д.), робочі місця і т.д. м'які заземлюються.
(2) Іонізований Сяо Електричний
Компоненти та друковані плати, вироблені та зібрані в чистих приміщеннях, виробничих лініях та робочих станціях, завжди неминучі, що існують деякі ізольовані провідники та ізоляційні діелектричні матеріали (наприклад, більшість звичайних пластмас), які не можуть бути заземленими. У деяких середовищах іонізуючі елімінатори часто використовуються для локального розсіювання статичних зарядів на цих об'єктах, а частіше за допомогою іонізації повітря нейтралізувати статичні заряди на ізоляційному середовищі і ізольованих провідниках.
(3) Статична електрика і статичні розсіювальні матеріали
Статичні електропровідні матеріали і статичні дисипативні матеріали також є дуже хорошими статичними зарядними матеріалами завдяки своїй статичній електропровідності, і безпечніші, ніж розряди металевих провідників. Вони зазвичай використовуються як підлоги, стіни, робочі майданчики та контейнери для обороту. , Пінцет, щітки та інше антистатичного обладнання.
5. Запобігання ESD і захист продуктів
Це останній крок у трилогії управління статичною електрикою. У чистому приміщенні виробництва мікроелектроніки, щоб запобігти виникненню ESD на електростатичних чутливих компонентах або компонентах, ПХБ, одним з методів є забезпечення відповідного заземлення або шунтів для компонентів і компонентів для «розсіювання» статичної електрики, яка існує на продукті. Заряджайте; іншим методом є використання відповідних методів упаковки та матеріалів для обробки упаковки та транспортування електростатичних чутливих пристроїв. Ці матеріали можуть ефективно захистити вторгнення електричних зарядів в продукт і зменшити статичний заряд, що утворюється при переміщенні продукту в пакувальну коробку.
На міжнародному рівні напівпровідники, плоскі рідкокристалічні дисплеї та оптоелектроніка швидко розвивалися, з більш високими та вищими рівнями інтеграції, тоншими діаметрами дроту та більш високими та вищими вимогами до антистатики. Американська асоціація ESD почала переглядати програму електростатичної чутливості ANS ESD S 20.20-1999, і внесла деякі зміни в класифікацію електростатичної сприйнятливості SSD.
Це дає користувачам компонентів попередження, незалежно від того, коли персонал або обладнання робить обладнання, повідомте вам вимоги екологічного контролю, які можуть знадобитися. Якщо допустима напруга в зоні EPA досягне 25В, я боюся, що нашому існуючому антистатичного обладнанню, обладнанню, інструменту та інжинірингу доведеться пройти важку роботу.